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微震加速度传感器

2016/12/6 16:43:01
  • 地震,桥梁健康,建筑监测用高灵敏度加速度传感器
产品说明

MSCA 4002-C 产品结合了一个 MEMS 电容式加速度传感器,它是由一个陶瓷封装的体微机
械加工技术制成的硅元件,通过一个内部连接板传输到一个专用混合信号 ASIC,能进行模
拟闭环力平衡反馈。多芯片模块(MCM)被安装到印刷电路板上,由采用线性稳压器的电
源调理电路、输出放大器和其它辅助电子元件构成。

MSCA 4002-C 采用双极工作电源,电压为±  6V 至±  12V,并且在±  6V 时的一般电流消
耗为 12mA。全线性加速度的范围是±2g,  相应的典型灵敏度为 1.1 V/g。它可在从-40°C 至
+85°C 的温度范围内工作。可承受高达 1500g 冲击后而不会降低性能。在整个量程范围的
频率响应是从直流到大于 500Hz。


加速度传感器技术参数:


线性输出范围  峰值 g  ±  2
直流偏值  最大值 mg.  ±  300
比例因子/灵敏度  V/g (差分)  1.1 ± 0.11    (2.2 ± 0.22)
动态范围(0.1 to 100 Hz BW)  dB typ.  100~120dB
噪声  (10 to 1000 Hz)  μg rms /√Hz typ.      0.5~2
噪声(0.1 to 100 Hz)  μg rms  typ.  5~10
频响  [1]  Hz  DC to 500
交叉轴抑制  dB typ.  > 40
偏值温度系数  mg/℃ typ.  -1~ +1(ref ± 1g)
灵敏度温度系数(ref  ±  1g)  ppm/℃ typ.  200
线性误差  % typ.    (max.)  在  ±  1g 以内 < 0.5 (<1%)
[1]    带宽的定义是在某一频段其灵敏度降低到 3dB  以下。


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